該法利用臭氧對254nm波長的紫外線特征吸收的特性，依據朗伯一比爾定律測量紫外線通過臭氧的光強變化來檢測 臭氧濃度。該法不但適用于檢測氣體中臭氧濃度，也可以檢測水中溶存的臭氧濃度，已被我國作為環境空氣中測定臭氧的標準方法。
　　電化學法主要是被測臭氧氣體以擴散方式和儀器接觸，并發生反應，輸出穩定的電信號。氣體濃度值可以穩定地用數據顯示在顯示屏上。紫外吸收法的原理為臭氧對波長 λ=254nm紫外光具有最大吸收稀疏，在此波長下紫外光通過臭氧層會產生衰減，符合蘭波特-比爾定律。目前，紫外吸收法已被美國等國家作為臭氧分析的標準方法。其采用紫外線吸收法具有檢測精度高、穩定性好，其他氧化劑干擾小等優點。缺點是價格較高。
      光譜分析法是指在光的作用下，通過測量物質產生的發射光、吸收光或散射光的波長和強度來進行分析的方法。在光譜分析中，依據物質對光的選擇性吸收而建立起來的分析方法稱為吸光光度法。
      科學家們已經發現臭氧層能吸收紫外線，研究表明臭氧僅對波長253.7nm的紫外線具有最大吸收系數，在此波長下紫外線通過臭氧會產生衰減，符合蘭波特一比爾定律:該原理已被美國等國家作為臭氧標準分析方法:該臭氧檢測儀就是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。